TiO_xH_y微細構造変化の加熱下時間依存性

抄録

TiO_xH_y膜は、アモルファス酸化チタンの終端をヒドロキシル化した材料である。TiO_xH_y膜は、アニールすることでアモルファス構造からTiO₂の結晶構造に変化する。本研究では、アニール温度を一定にしアニール時間を変化させることによるアモルファスからの結晶化挙動の経時変化を主に分光学的に調査することを目的とした。TTIPを原料錯体に大気開放型CVD装置を用いてTiO_xH_y膜を作製した。作製した試料は250℃でアニールした。ラマンスペクトルから求めた平均クラスターサイズは、アニール前では算出できなかった。アニール24時間後には平均5nmとなり48時間後には平均36nmとなった。TiO_xH_y膜は、250℃のアニールで24時間後にTiO₂クラスターが作製され、36時間後には結晶化すると判断した。低温度アニールを長時間行うことでTiO_xH_y膜をTiO₂膜に結晶化させることが可能であることが分かった。