ZnO:Alウイスカー冷陰極の引出電圧

抄録

本研究では、ウイスカー冷陰極を用いた低電圧·高輝度な三極型平面照明素子の試作を目的とした。冷陰極は基材となるZnO:Alウイスカーを大気化学気相析出により作製し、その上にマイクロ波プラズマCVD法によってアモルファス水素化窒化炭素膜をコーティングすることで得た。平面照明素子を引出電圧250Vで高輝度に発光させることに成功した。