抄録
市販の単斜晶酸化チタン繊維(径0.1∼0.5μm, 長さ5∼10μm)を原料とし, 反応管中央に設置した炭化ケイ素フィルター上に充填し窒素, アンモニアおよびヘキサン混合ガスを導入し流動層還元窒化反応を行った. 窒素とアンモニアの混合ガスを用いた場合900℃からTiNが生成し, 反応温度の上昇に伴いTiNの回折強度比が増した. ヘキサンを導入した場合, 導入しなかった場合と比較してTiNの回折強度比が増大した. 900∼1300℃では原料形態を維持できたが, 1450℃では微細な粒子の連結状を示した. 反応生成物を成型したものの電気伝導度は最高で0.19Ωcmとなった.
