抄録
光によって反応するβ-ジケトン及びC=C二重結合を有する有機物を添加したTiアルコキシド溶液を用いて、ゾルゲル法を利用してTiO_2ハイブリッド膜を作製した。β-ジケトン及び水の添加量により膜の原料組成を検討した。また、作製した膜は光の照射により構造変化を起こすことから、紫外線照射部と未照射部ではアルコールへの溶解性が異なり、フォトマスクを用いた紫外線照射とエッチングによりパターニングが可能であることがわかった。また、フェムト秒レーザーの 4 光束を干渉させることによって得られた干渉光をハイブリッド膜に照射すると、周期3μmで材料が二次元的に配列した周期構造体が作製できた。
