圧電セラミックスの共振点付近における変位およびインピーダンス特性

抄録

高出力の超音波モーターや圧電トランスデューサなどの共振現象を使う圧電パワーデバイスが,今後のメカトロニクス、医療工学において重要と考えられている。しかしながら,圧電振動子を大振幅で駆動させたときの挙動は,未だ十分に解明されていない。大振幅駆動時の圧電振動子の性質を知る上で、共振周波数近傍において振動子の端面変位とインピーダンスを同時に測定することは,非常に重要である。そこで本研究では,ソフト系PZTについてダブルビーム式レーザドップラー速度計による端面変位とインピーダンスの同時測定を行い,その結果を検討した。