PZT 系セラミックスにおける正・逆圧電 d33 定数の周波数特性評価

抄録

圧電体の評価法としては共振・反共振法が一般的であるが、高電界、高応力、高周波下での圧電体の挙動を直接評価する方法が応用面から求められている。本研究では正圧電・逆圧電現象を直接、正確に評価する方法を確立し、両圧電現象を同条件で直接比較し、周波数特性の検討を行ったところ、周波数の上昇に伴って圧電特性減少することが確認された。しかし、hard-PZTの逆圧電効果に関してはそのような現象は見られなかった。