TiO2 薄膜の水溶液中パターン化析出及び誘電特性の評価

抄録

従来強誘電体薄膜や高誘電率薄膜の成膜には各種スパッタ法、sol-gel法,MOD,各種CVD法等が多く用いられてきた。高温成膜における組成制御の困難さを避ける手法として、生体内での鉱物化現象に学んだバイオミメティック材料化学の分野が最近拓けてきており、これによるセラミックス成膜研究が盛んに行われている。本研究では、MOSFET等の電子デバイスへの応用を目的とし、自己組織膜をテンプレートとして用いるTiO2薄膜の水溶液から合成、マイクロパターンニングを行ったので報告する。