表面修飾した酸化物ウイスカー冷陰極の電界放射

抄録

われわれは鋭利な先端を有するZnO:Alウイスカー群上に低仕事関数材料であるアモルファス水素化窒化炭素膜を電子放射先端材料としてコーティングすることにより、ウイスカー型冷陰極を作製・評価してきた。本研究では二次電子放射能が比較的大きく、耐スパッタ性を有するMgO多結晶薄膜を電子放射先端材料に選択した。電界放射特性を評価した結果、閾値電圧は390 Vであり、印加電圧1.8kVにおける放射電流は1.8mAであった。