抄録
我々は、ZnO薄膜のマイクロパターンを作成するために、無機-有機界面における分子認識を利用した領域選択析出(Site-selective deposition)を試みた。自己組織膜を用いて官能基の異なるマイクロパターン(-OH,-CH3)を作製し、これをテンプレートとして用い、ZnO薄膜の原料水溶液に浸漬した。これにより、ZnOH薄膜のマイクロパターンを大気中、60℃で、 環境負荷の少ない水溶液を用いて作製した。この薄膜は高い解像度を持つものであり、さら に浸漬後、この薄膜を300℃で加熱処理を行うことによりZnO薄膜を得た。
