Effect of dielectric materials on the deNOx behaviour in barrier discharge plasma process

抄録

バリア放電プラズマプロセスにおけるNO「_」Xの分解挙動について検討した。プラズマ反応器のバリア材料として取り付ける誘電体は放電プロセス、放電状態及びNO「_」xの分解挙動に大きく影響を与える。石英及びシリコンゴムを用いた場合、400 ppmのNOを連続的に完全な分解除去ができたが、アルミナを用いた場合は、空気中の窒素と酸素の反応が進行し、NO「_」xの濃度が逆に増加した。