有機無機ハイブリッドから作製した Si-Ta・Nb-C-O 系セラミックスの酸化挙動

抄録

ゾルゲル法から作製したSi-Nb-C-O 系セラミックスの酸化挙動を検討した。FT-IR および XPS スペクトルを用いて酸化前後の構造解析を行った。600℃で熱処理したハイブリッドは末端メチル基が完全に熱分解されておらず酸化に対する耐性は乏しかった。