窒化物焼結助剤を用いて焼結した窒化ケイ素セラミックスの熱伝導率

抄録

窒化ケイ素粒子内の固溶酸素の存在が、窒化ケイ素の熱伝導率に影響を及ぼすことはよく知られている。最近、MgSiN2を焼結助剤として用いることにより、固溶酸素量を低減させ、高熱伝導化に成功したことが報告された。本研究では、種々の窒化物系および炭化物系の助剤を添加した焼結体を作製し、固溶酸素量に注目して焼結助剤の効果について検討した。