抄録
酸化物セラミックス超薄膜をチップ上へ所望の箇所に選択的に析出させるプロセスに関する研究を行った.この研究は,チップ上へのマイクロデバイスの直接製造の概念を念頭に置いており,本発表は,選択析出のみならず,析出の段階で結晶化度等の微細構造制御も同時に行えるプロセス構築を目指したものであり,金属酸化物全般へ応用可能であるプロセスである. 選択析出には, シラノールとメチル領域を有する単分子膜によって表面を覆われたSiウェハーを用いた. 結晶化度及び,相の変化を制御するために,2種類のプレカーサーを用いた. 本報告では,膜の選択析出機構並びに微細構造が物性へ及ぼす影響を検討することによって水溶液プロセスからのマイクロセンサー創製プロセス実現に向けたアプローチを紹介する.
