抄録
我々は、安価で容易なPZT薄膜のパターニング方法として、パターン化した自己組織化膜(SAM)テンプレートを用いた手段を提案する。SAMとは溶液中における分子の自発的な自己制御プロセスによる基板表面上の形成膜を示す。本研究ではSAM分子としてフッ素鎖チオールを用いた。基板上に形成したSAMに対し、マスクを介して紫外線照射を行なうことによってSAMのパターンを形成した。これにより, PZT前駆体溶液の濡れ性を制御することで、PZT薄膜の選択析出を行なうことができた。また、強誘電特性を測定したところ、パターニングを行なっていないPZT薄膜と遜色ない良好なヒステリシスループを示した。
