電気泳動電着法によるナノ結晶チタン酸バリウム薄膜の作製と誘電特性

抄録

高濃度アルコキシドゾル_-_ゲル法により得られる10 nm サイズのBaTiO3結晶粒子を単分散させたサスペンションを用いた電気泳動電着法により、極めて均質な組織を持つナノ結晶BaTiO3薄膜の作製を行った。この薄膜に微量の焼結助剤を添加し、800℃以下の温度での焼成して得られたセラミックス薄膜の構造と誘電特性について評価した結果を報告する。