(Ba,Sr)TiO<SUB>3</SUB>薄膜を用いた高周波コンデンサにおけるチューナビリティの成膜条件依存症

日本セラミックス協会　年会・秋季シンポジウム講演予稿集

第17回秋季シンポジウム

セッションID: 2J14

DOI https://doi.org/10.14853/pcersj.2004F.0.670.0

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主催: 公益社団法人日本セラミックス協会

(Ba,Sr)TiO₃薄膜を用いた高周波コンデンサにおけるチューナビリティの成膜条件依存症

*I.P. Koutsaroff, T.A Bernacki, M. Zelner, P. Woo, A. Cervin-Lawry, 神保武人, Suu K.

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© 　日本セラミックス協会　2004

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