パルス細線放電法による高繰り返し超微粒子合成装置の開発

抄録

超微粒子の生成にはCVDやPVD、共沈法などがある。これらの方法は加熱時のエネルギー変換効率が低いという問題がある。これに対しパルス細線放電法は加熱時のエネルギー変換効率が高いという利点がある。我々はこのパルス細線放電法により超微粒子の生成を行ってきたが、現在使用している装置は超微粒子の大量合成には適していなかった。そこで我々は超微粒子大量合成装置の開発を行った。この装置を試作したところ、放電ノイズによる影響で誤動作が発生したため、ローパスフィルタを使って誤動作の抑制に成功した。この結果、短絡試験において、5kVの充電電圧で充放電と細線供給の繰り返しを20[回/分]行うことに成功した。