水溶液法によりアルミ薄膜上へ選択析出した酸化亜鉛の蛍光特性

抄録

ZnOは半導性、光半導性などの性質を持っており、また蛍光体としても注目されている物質である。蛍光体デバイスなど様々なデバイスへの応用を目的としたZnO薄膜の簡便で低環境負荷な新たな調製法の開発が重要な研究課題である。我々はパターン化した自己組織膜をテンプレートとして用いてSi基板上にZｎOを水溶液から直接パターニングしたことについて報告してきた。今回はZnイオンを含む溶液にAl配線パターンが施されているガラス基板を浸すことによって、Al上のみにZnO薄膜を選択的に析出させることに成功した。またこのZnO薄膜の蛍光特性について評価した。