Preparation of (Ba,Sr)TiO3 thin films from solutions containing PVP and dielectric properties

第17回秋季シンポジウム

セッションID: 2G13

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主催: 公益社団法人日本セラミックス協会

PVPを含有するコーティング液を用いた(Ba,Sr)TiO₃薄膜の作製と誘電的性質

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抄録

PVPを含有する溶液をコーティング液とし，有機-無機ハイブリッドゲル膜を経由する１回のゾル-ゲル成膜操作でサブミクロン厚の(Ba,Sr)TiO₃単一相薄膜を作製し，その誘電的性質を評価した。