Polypyrrol/MoO₃薄膜素子のＶＯＣセンサ特性

抄録

我々の研究グループでは、酸化モリブデン層間にポリピロールがインターカレートしたPolypyrrol/MoO₃がＶＯＣガスに対して高い選択性を持つセンサ材料であることを報告している。今回はこの材料の薄膜化に成功したので、薄膜素子の作製プロセス及びＶＯＣガスに対するセンサ特性について報告する。