抄録
環境汚染は基本的に、空間的な分布をする現象であり、時間的にも絶えず変動している。したがって、環境汚染を的確に捉え、適切な対策を講じるためには、汚染現場における実時間計測、すなわち広域ｖxモニタリングが不可欠である。特に高性能な環境診断デバイスの開発が急務である。現在環境汚染物質の検出には、質量分析等の機器分析法が用いられている。しかし、機器分析法は高価である上に、大掛かりな装置と大きな設置スペースが必要である。また、測定プロセスも煩雑であり、特定の施設しか使用できず、データ取得に手間や時間がかかる等問題点がある。これらの問題点を解決するために、我々は規則構造を有するナノ多孔質を用いた環境ガスセンサーの開発を行って来た。高秩序で周期的なナノサイズの細孔構造を有する比表面積の高いナノポーラス金属酸化物を用いて、金属(M)－ナノポーラス酸化物膜(I)－シリコンウェーハ(S)のようなMIS構造を有するSPVセンサーを試作し、ppb-ppm範囲で、NOとNO2のセンシング機能を確認した。
