有機酸溶液を用いたAlの限界高電位陽極酸化によるポーラスアルミナナノ構造体の形成

抄録

本研究では高純度Al板およびITOまたはFTO付きガラス基板に蒸着したAl薄膜を用い、電解液、濃度、印加電圧、温度などを変化させ、陽極酸化を行った。特にリンゴ酸溶液では200 V以上の限界高電圧の陽極酸酸化により、500 nm以上の可視光領域を含む大きなセルサイズを持ち、ポーラスアルミナ皮膜を形成することができた。各種条件で形成したアルミナ皮膜の微細構造および諸特性についてFESEM , XRD , UV-vis spectroscopy等により調べた。