β-Ga₂O₃セラミックスのカソードルミネッセンス特性に及ぼすAl添加の効果

抄録

通電加熱法を用いて成長させた酸化ガリウム（β-Ga₂O₃）の結晶からこれまでに報告のない高エネルギーの紫外発光（3.7 eV）をカソードルミネッセンス測定により観測した。さらに、EDS分析の結果それらの結晶中に含まれるAlが紫外発光に大きく関与することをつきとめた。本研究はβ-Ga₂O₃セラミックス中に意図的にAlを添加することにより、β-Ga₂O₃に含まれるアルミニウムが発光特性に与える影響について検討を行った結果を報告する。