SPMによるセラミックスの物性評価~酸化物単結晶に対するナノインデンテーション2~

抄録

ナノスケールとマクロスケールでの相違に注目することで、多結晶体や複合材料の特異物性評価や、新規機能材料の開発・評価などに関する有益な情報が得られると期待できる。本研究では、前回の発表で報告した単結晶の機械的性質の方位依存性をさらに詳細に検討する為に、有限要素法による応力解析を行った。試料にはYSZ, TiO₂, MgO, Al₂O₃などの酸化物単結晶を選択した。実験ではHysitron Inc.製のTriboscope^®及びJEOL社製SPM(JSPM-4210)を使用した。圧子にはBerkovich型圧子を採用した。