DLC膜のナノインデンテーション試験

抄録

ナノインデンテーション法により薄膜の硬さや弾性率などの機械的特性を原理的には求めることができる。しかし測定結果には圧子の先端形状や装置剛性あるいは表面粗さや膜厚、基板の特性など多くの因子が影響を及ぼすため、膜固有の特性を高精度に決定することは容易ではない。本研究では厚さ1ミクロンのDLC膜について種々の条件でナノインデンテーション試験を行い、これらの影響について詳細に検討することにより、得られた荷重-変位曲線から膜固有の機械的特性が得られることを示す。さらに弾性変形モデルに基づく計算機シミュレーションの結果とも合わせて、基板の影響などについても考察する。