CVD YSZ膜中のナノポアの高温熱処理による構造変化

抄録

CVDにより柱状組織のYSZ膜を高速で合成した。柱状晶は多結晶であり，粒界および粒内に約10 nmのナノポアが数多く存在していた。ナノポアはYSZ膜の熱伝導度を低下するが，高温熱処理により成長して消失するため熱伝導度が上昇するのが問題である。本研究では，1473 Kでの熱処理によるCVD YSZ膜に存在するナノポアの構造変化を透過電子顕微鏡で観察した。熱処理時間が100 ksまでは結晶粒径およびナノポアが成長したが，その後ほとんど変化しなかった。