EB-PVD法を用いた(La,Sr)MnO₃電極の作製

抄録

電子ビーム物理蒸着法を用いてペロブスカイト酸化物La_0.8Sr_0.2MnO₃の8mol%Y₂O₃添加ZrO₂基材への成膜を行った。成膜された膜は、X線回折より立方晶のペロブスカイト相であることが分かった。EDXによる組成分析より、膜の組成は蒸着源とほぼ同じであることが確認された。また、SEMによる組織観察より、膜の組織はEB-PVDに特有の柱状組織を持つことが分かった。この膜の電極性能を測定したところ、その性能は不充分であった。これを改善するため、電極膜_-_固体電解質界面の構造制御について検討した。