抄録
Ｓｉ_-_Ｎ結合の繰り返し単位を有する化合物の総称がポリシラザンである。耐熱ポリマーや窒化珪素系セラミックスの前駆体として研究が進められた。しかし、Ｓｉ_-_Ｎ結合に起因する加水分解性等のために製品化には至らなかった。弊社では東燃（株）（現 東燃ゼネラル石油（株））から事業を引き継ぎ、主に置換基が全て水素であるポリ（ペルヒドロ）シラザンの用途開発、製造、販売を行っている。ポリ（ペルヒドロ）シラザンは水との反応により、有機基を含まないシリカ膜へ転換できることから半導体の層間絶縁膜用途や防汚コーティング用途での利用が進められている。本講演では、材料とこれらシリカ薄膜用途への展開の現況について紹介する。
