電解合成したセラミックス前駆体からのTiN及びTiAlN膜の作製

抄録

TiとTi-Al合金をイソプロピルアミン溶液中で定電流電解し、TiNとTiAlNの前駆体溶液を作製した。この前駆体溶液を石英ガラス基板へdip-coatingし、所定の温度で焼成することでTiNとTiAlN膜を作製した。この膜の同定をXRD、SEM観察、XPSで行った。いずれの膜も0.5ミクロンの厚さで、粒子は数十nmの粒子から成り、金属と窒素の比は約1.0となった。