放射線を用いたポリカルボシランからのSiCマイクロ材料の開発

抄録

SiCの前駆体高分子であるポリカルボシラン繊維を、電子線により表層のみ酸化架橋し、未架橋の内部を溶媒で抽出し、その後セラミック化することでSiCマイクロチューブを合成するプロセスを開発した。本講演ではこの他に、微小型枠で整形したケイ素高分子を放射線で架橋後にセラミック化する手法や、単一イオンビームによるナノオーダーのワイヤーの合成など、ケイ素高分子への放射線の応用について報告する。