ヒーター付き熱電式水素センサの小型化

抄録

熱電変換式水素ガスセンサは、白金触媒と水素ガスの触媒燃焼による発熱を、薄膜熱電変換材料が電気エネルギーに変えるという動作原理で作動する。この素子の安定した触媒特性を維持するために、ヒーターを設けて素子温度を室温より少し高くする。さらに、この熱電式水素センサの応答性は、素子の熱容量を小さくすることで改善されると考えられる。本研究では、熱電式水素ガスセンサ素子のマイクロ化を進め、薄膜プロセスを用いた、ヒーター付き小型センサの開発を行った。