マイクロ熱電式水素センサの開発

抄録

今後の水素燃料電池を用いた社会において、その安全な利用のため高性能水素センサが必要である。水素センサの中でも熱電式水素センサは動作原理が簡単であり高選択性、高感度、高濃度範囲検知が可能等優れた特性を有している。我々はSiGe薄膜の熱電効果およびPt触媒の水素酸化反応を用いた斬新な熱電式水素センサの開発を行っている。マイクロ熱電式水素センサは既存のエッチング処理と集積技術を組み合わせる新しいセンサー技術の一つである。そこでこれまで得られた知見を元に、素子のマイクロ化を図り、そのプロセス条件の検討を行い、作製したマイクロ素子の性能を評価した。