金属-有機化合物を用いた (1-x)BiScO₃-xPbTiO₃薄膜の作製とその特性

抄録

ペロブスカイト型酸化物の固溶体(1-x)BiScO₃-xPbTiO₃(BS-PT)はモルフォトロピック相境界（MPB）を有し、これまで主に応用されてきた強誘電体材料のPb(Zr,Ti)O₃（PZT）より相転移温度(キュリー温度)が高く、良好な誘電特性、圧電特性及び強誘電特性を示すために注目されている。本研究では、このBS-PT薄膜を精密な組成制御と低温合成が可能となる化学溶液法を用いて基板上に作製し、結晶相の解析及び電気的特性の評価を行なった。その結果、600℃以上で結晶化処理を行なうことでペロブスカイト相単相のBS-PT薄膜を得ることに成功した。また得られた薄膜の誘電率及び残留分極値（Pr）はx=0.65の組成で最大を示し、それぞれ約1700と約30uC/cm²であった。