クロム酸鉛系厚膜素子の作製条件と感湿特性

抄録

クロム酸鉛系感湿材料は組成変化により、感湿特性を制御することができる。この組成変化は酸化物を組み合わせることによってもおこなうことができる。特に酸化鉄を組み合わせた素子において優れた感湿特性を持つ素子が作られた。この素子の特性を安定化させ、信頼性を高めることと感湿機構を確認するための研究をおこなった。今回の研究では焼成を繰り返し、生成組成および感湿特性を調べたところ組成の安定化に伴い、優れた感湿特性が得られたのでその結果について報告をする。