プラズマ法による酸化チタン薄膜の常温結晶化

抄録

アモルファス酸化チタンが、穏やかなＲＦプラズマ環境において、特定の狭い条件下で常温近傍で結晶化することが見出された。現在この現象をさまざまな物質でも実現できる条件を探索している。このプラズマ常温結晶化技術の、適用範囲や条件など明らかになってきたことを報告する。