HfO₂-ZrO₂系薄膜からのカソードルミネッセンス

抄録

カソードルミネッセンス(CL)法によりHfO₂薄膜の発光が原料中に含まれる不純物Zrに起因することを報告してきた。そこで、本研究ではHfO₂-ZrO₂系薄膜を作製し、発光特性をCL測定により調査した。HfO₂-ZrO₂系薄膜から4.4 eV付近にピークを持つ発光が得られた。このことからHfO₂-ZrO₂系薄膜の発光原理は、不純物Zrが形成した準位からの遷移とは考えられないことがわかった。