日本セラミックス協会 年会・秋季シンポジウム 講演予稿集
第18回秋季シンポジウム & 第1回アジア-オセアニアセラミック連盟国際会議
セッションID: 3I08
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レーザーアブレーションおよびMBEによる金属窒化物薄膜の合成と物性
*犬丸 啓馬場 一也小山 邦彦宮木 雄史村嶋 美香黒田 祐介山中 昭司
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抄録
RF窒素ラジカル源をもちいた超高真空装置により種々の金属窒化物薄膜を合成した.Sr2Nはファンデルワールスギャップをもつ層状窒化物である.窒素ラジカルを照射しながらSrを蒸着することにより、00l配向したSr2Nを合成した.電気伝導度測定により、この化合物が層に平行な方向に高い電気伝導度を示すことがわかった.また、MgO単結晶基板上にCrN-TiN薄膜をレーザーアブレーションによりエピ成長させ、その物性を検討した.CrNにTiNを固溶させると、強磁性(Tc=150 K)が発現し、電気伝導度も大きく変化した.講演ではさらに新しい結果も交えて報告する.
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©  日本セラミックス協会 2005
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