抄録
半導体ガスセンサでは、ガスと酸化物の吸着酸素（あるいは表面酸素）との反応の結果、酸化物粒子間の粒界ポテンシャルが変化して電気抵抗が変わることが知られており、センサのガス感度（空気中とガス中での電気抵抗の比）が、(１)酸化物一次粒子径効果、(２)増感剤効果により著しく向上することが知られている。最近では、(３)感応体利用率が3つ目の重要な因子であることを、演者らのグループが報告している。これまでこれらは別々に検討されてきたが、演者らはこれらの指針を一つに融合して新たに半導体ガスセンサを設計すればpptレベルのガス濃度をも検知できるガスセンサが創出できると考えている。本発表では、ガス拡散に有利なクラスター粒子からなる薄膜型ガスセンサについて紹介する。
