PVP支援ゾル-ゲル法により作製されるPZT薄膜の加熱板上焼成による配向制御

抄録

ポリビニルピロリドン（PVP）を含有するアルコキシド溶液をコーティング液としてチタン酸ジルコン酸鉛（PZT）薄膜を作製した。加熱したセラミック板上にゲル膜をコーティングした基板を置くことにより、結晶配向が現れることを見出した。また、結晶化のための本焼成に先立つ仮焼温度を変えることにより配向性が変化することを見出した。