抄録
マイクロ熱電式ガスセンサの触媒パターンは、テルピネオールにセラミックス触媒粒子を分散したペーストをディスペンサで塗布することで集積化される。本研究では、ペーストの分散剤として、テルピネオールにエチルセルロース(商品名:エトセル)10wt%を溶かして粘度を高めたもの(TE10)と、テルピネオール(T)の2種類を用いた。分散剤とセラミックス粉体粒子(粒径が100nmのアルミナ粒子にPtを担持させた触媒)の混合比を変えた幾つかの異なるセラミックスペーストを調製し、粘度のせん断速度依存性に及ぼす高分子・粒子量の影響を調べた。