インクジェット印刷によるアンチモン添加酸化錫のパターン形成

抄録

インクジェット法は基板に直接印刷が可能であるため、工程や材料使用量が少ないことに加えマスクパターンが不要であり、大面積印刷や多品種少量生産に適している。本研究ではインクジェット印刷を利用し、ガラス基板への透明電極のパターン形成を行った。透明電極材料としてアンチモン添加酸化錫を用い、インク特性、基板表面処理方法及び印刷条件によるパターン形成への影響を検討した。その結果、パターンは基板の濡れ性や印刷条件に影響され、適切な条件設定が微細パターン印刷には重要であることが示された。