HfO₂添加Si₃N₄セラミックスの焼結収縮挙動

抄録

本研究では焼結助剤として、HfO₂を添加したSi₃N₄の焼結収縮挙動を調査しHfO₂が焼結収縮挙動に与える影響を調査した。その結果広く用いられているAlN-TiNを助剤としたSi3N4とは異なる挙動を示していることがわかった。当日はHfO2添加による焼結挙動について発表する予定である。