溶液塗布熱分解法によるITO薄膜の作製と熱電特性

抄録

InCl₃，SnCl₂の混合水溶液をスピンコーティングによりガラス基板上に塗布し，熱分解によりITO薄膜を作製した。作製したITO薄膜の電気伝導率及びゼーベック係数を測定し，熱電出力因子を評価した。Sn固溶量にともなうITO薄膜の熱電特性の変化を報告する。