パルス細線放電法により作製した炭素プラズマにおける冷却速度の雰囲気ガス圧力依存性

抄録

これまでに、我々は、金属細線を酸素や窒素雰囲気中で放電させるパルス細線放電法により、種々の金属、酸化物および窒化物の超微粒子作製に成功している。また、超微粒子の作製のみならず、パルス細線放電法のプロセスに関しても盛んに研究されており、炭素超微粒子中に含まれる非晶質炭素とグラファイトの体積分率から炭素プラズマの冷却速度の定性的評価が行われた。本研究では、高圧用のチャンバーを用いることにより、雰囲気ガス圧力を26_から_200kPaに変化させた炭素プラズマの冷却速度依存性を明らかにした。