AD法で形成したITO膜の電気特性

日本セラミックス協会　年会・秋季シンポジウム講演予稿集

2006年年会講演予稿集

セッションID: 3B03

DOI https://doi.org/10.14853/pcersj.2006S.0.470.0

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主催: 公益社団法人日本セラミックス協会

AD法で形成したITO膜の電気特性

*森正和, 明渡純

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キーワード: ITO膜, 電気特性, AD法, 光学測定

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抄録

エアロゾルデポジション（ＡＤ）法を用いてITO膜を形成した．as-depo.膜および熱処理をしたITO膜の微細組織および電気特性変化を評価した．

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© 　日本セラミックス協会　2006

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