レーザーＣＶＤ法による多孔体内部へのジルコニア被膜

抄録

レーザーＣＶＤ法では、様々な微細構造の酸化物膜を高い成膜速度で合成することができる。中でも、大きな表面積を持つ羽毛上組織は、触媒担体への応用が期待されている。触媒は、例えばハニカムのような多孔体の上に作製されるがＣＶＤ法はスパッタ法などとは異なり、孔の内部へも成膜するとこができる。そこで本研究では、直径数_mm_程度の内径を持つセラミックスチューブ内壁への成膜を試み、チューブ内壁に成長した膜の微細構造観察を行った。