ECRプラズマCVD法により合成したチタニア膜の微細組織に及ぼす成膜条件の影響

抄録

ECRプラズマCVD法により、チタニア膜を合成した。ステージ温度、マイクロ波出力などの合成条件を変化させ、合成条件が膜の結晶相、微細構造および成膜速度に与える影響を調べた。