レーザCVD法により合成したα-Al₂O₃膜の微細組織と結晶配向性

抄録

レーザCVD法を用い、高硬度相であるα-アルミナの合成を試みた。合成条件が膜の微細構造、結晶相、配向性に与える影響を調べ、α相の生成条件、α相の配向制御についての知見を得た。