ボトムアップ法によるセラミック薄膜の析出

抄録

基板上への不均一核形成と結晶成長を優勢に進行させ、水溶液からセラミックス薄膜をボトムアップ的に析出させる手法について講演する。本手法によれば、323～343Kの水溶液から、SnO2, CeO2, MnO2, FeOOH, Fe3O4, Co3O4, TiO2薄膜およびZnOやIn2O3の前駆体薄膜を作ることができる。また、基板表面に酵素を固定化して、水酸アパタイトの薄膜も作製することができる。さらに、スケールアップのための問題点と解決策についても述べる。