AlN焼結体の光透過率に与える焼成温度、保持時間の影響

抄録

窒化アルミニウム(AlN)は高い熱伝導率、高い電気絶縁性、シリコンに近い熱膨張率などの特徴を有している。また、6.2 eVものワイドバンドギャップを有していることから、紫外、可視、近赤外領域において無色透明であり、透光性セラミックスとして期待されている。高い光透過率を有するセラミックスを作製するためには、気孔や欠陥密度の減少が不可欠である。気孔や欠陥密度に影響を与える要因として焼結助剤や焼成条件があげられる。本研究では、焼成温度と時間及び光透過率の関係を調査した。また、光透過率とｃ軸の格子定数の相関を見いだした。結晶中の固溶酸素に伴うO_NやV_Alが光透過率に影響していることをつきとめた。